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Mesures physiques

Capteurs en couches minces et microtechnologie
Perspectives

Les objectifs à long terme du département de Mesures physiques dans le domaine des capteurs en couches minces sont multiples et visent :

  • d’une part, à développer la métrologie non intrusive en couches minces dans les turbomachines et les chambres de combustion au profit des industriels motoristes et de leurs partenaires, et à réaliser les transferts technologiques nécessaires des équipes Onera vers celles de l’industrie. En particulier :
    • développer des capteurs thermiques, fluxmètres à grande étendue de mesure (flux de quelques MW.m-2 et Tsurface < 1200°C) également utilisables pour la mesure du coefficient d’échange convectif (h < 5000 W.m-2.K-1) et fluxmètres haute sensibilité (flux de l’ordre de 100 W.m-2 et Tsurface < 900°C) pour la mesure des flux convectifs et radiatifs.
    • développer des capteurs piézo-électriques de pression instationnaire fonctionnant jusqu’à 1100°C, dans une plage de mesure comprise entre 102 et 107 Pa, avec une résolution de 102 Pa, dans une bande fréquentielle comprise entre 100 Hz et 100 kHz ; réaliser des mesures de pression à la surface des aubes de turbomachines et détecter des fréquences caractéristiques dans les chambres de combustion ; améliorer la précision des jauges de contrainte en couches minces pour des déformations relatives de la surface des aubes comprises entre 10 et 2000 ppm et supporter des températures atteignant 1000°C ainsi que des accélérations centrifuges de l’ordre de 3.105 g.
  • d’autre part, grâce au savoir-faire du laboratoire :
    • à développer des procédures d'élaboration innovantes de matériaux aux propriétés physico-chimiques originales, afin de définir de nouveaux concepts de multi-capteurs ou d’actionneurs susceptibles de répondre aux besoins des MEMS pour applications aéronautiques ou de systèmes de défense et sécurité.
    • à réaliser et tester des prototypes de microsystèmes avant transfert vers l’industrie.

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Capteurs thermiques

Capteurs mécaniques

Perspectives

 


Mis à jour le 3 décembre 2009 - © ONERA 2008 - Crédits et conditions d'utilisation