Mesures physiques

Capteurs inertiels vibrants miniatures
Perspectives

Les objectifs du département sur le long terme dans le domaine de capteurs inertiels vibrants sont :

1. L'amélioration des performances des accéléromètres vibrants en quartz développés sur les concepts et les technologies d’usinage chimiques propres au département : il s'agit de viser une précision de l'ordre du micro-g. Toute la gamme de performance nécessaire aux applications aéronautiques sera alors couverte par cette technologie.

1. La miniaturisation et l'intégration des Mems vibrants : il s'agit là de chercher à réaliser des Unités de Mesures Inertielles intégrées et ultra-compactes (applications drones, microdrones par exemple). Ces recherches s'appuient à la fois sur l'utilisation de matériaux semi-conducteurs permettant l'intégration de l'électronique, des concepts innovants de capteurs (capteurs multi-axes à structure plane), des études de faisabilité d'électroniques intégrées et des filières technologiques compatibles avec l'intégration de l'électronique

1. Le développement d'outils de modélisation dédiés Mems/Nems : il s'agit d'une part de développer des outils de modélisation de type éléments finis capables de traiter les problèmes couplés multi-physiques rencontrés dans ce type de capteurs (couplage thermo/piézo/élasticité, dissipation thermoélastique, amortissements par couplage fluide/structure,...) et d'autre part de développer des outils de prédiction de gravure chimique anisotrope des matériaux mis en œuvre.

1. Le développement des gyromètres vibrants à pastilles sensibles planes en matériaux piézo-électriques pour atteindre des résolutions meilleures que 1 °/heure.

Mis à jour le 28 août 2009 - © ONERA 2009 - Crédits et conditions d'utilisation