| 1. | Capteurs inertiels vibrants miniatures - VIA - ONERA / DMPH |
| | Dans le cadre du projet PiezoMEMS, le département oriente ses recherches vers l'étude de nouveaux matériaux piézoélectriques.... |
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| 2. | Capteurs mécaniques en couche mince, microtechnologie - Onera - DMPH - ONERA / DMPH |
| | L'élément sensible met en oeuvre un dépôt de 10 à 20 µm d'épaisseur de nitrure d'aluminium (AlN), matériau piézoélectrique susceptible de conserver ses propriétés au-delà de 1000 °C. Les paramètres d'élaboration de l'AlN ont été optimisés pour obtenir une orientation préférentielle du matériau favorisant l'effet piézoélectrique (texture cristallographique de type { 0001 } parallèle à surface substrat).... |
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| 3. | CEDRAT TECHNOLOGIES Innovation Hub |
| | Un matériau actif est commandé électriquement, de manière à modifier son état mécanique.C'est notamment le cas des alliages à mémoire de forme ou encore des matériaux piézoélectriques : ils se déforment et s'allongent quand on leur applique un champ électrique commandé par une tension électrique.. " Ces matériaux actifs ont été pour nous le champ de développement des actionneurs ". Ces systèmes, apparentés à des vérins, ont une course longitudinale en extension ou en contraction, commandée par une tension électrique.. |
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