| 1. | D'étonnants capteurs en couches minces - VisionONERA |
| | Deux sous-familles de capteurs sont regroupées sous l'appellation " capteurs mécaniques " : des jauges qui permettent de mesurer les déformations à partir des variations de leur résistance électrique et d'en déduire les contraintes mécaniques et des capteurs mesurant les fluctuations de pression utilisant un transducteur piézoélectrique en nitrure d'aluminium. " Si les jauges de déformation sont proches de l'industrialisation, les capteurs de pression instationnaire n'en sont encore qu'à une phase de développement en termes de paramètres d'élaboration des couches minces que nous réalisons par pulvérisation cathodique et d'amélioration des caractéristiques métrologiques ", souligne Patrick Kayser qui précise que cette technique est une spécialité de son équipe.... |
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| 2. | Moyens du département Mesures physiques (DMPH) de l'Onera |
| | Mécanique, micro mécanique logiciels de CAO / DAO de mécanique : deux postes Catia, deux postes Autocad laboratoire de micromécanique avec : des moyens d'usinage classiques, tours, fraises, rectifieuse, ou particuliers, machine à usinage par ultra sons, outils de rodage... des moyens de métrologie et de contrôle, palpeurs, capacimètres, profilomètres, interféromètres... moyens de pompage pour vide primaire ou secondaire, enceintes à vide, pompes turbomoléculaires, à diffusion, ioniques deux cryostats pour les expérimentations à température de l'azote ou de l'hydrogène liquide salle blanche et salles grises avec hottes à soufflerie horizontales (classe 100), bancs de nettoyage spécifiques, y inclus nettoyage avec agitation ultrasonore ou à azote liquide |
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| 3. | La newsletter n° 6 de fà © vrier 2005 - VisionONERA |
| | Aujourd'hui, il reste à intégrer ces éléments sensibles, à base de nitrure d'aluminium piézo électrique obtenu par pulvérisation cathodique, dans des corps optimisés sur le plan mécanique, mais aussi à améliorer leur sensibilité et à augmenter leur température d'utilisation.... |
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| 4. | Dépôt par pulvérisation cathodique triode (PCT) - ONERA / DMSM |
| | Dépôt par pulvérisation cathodique triode (PCT) - ONERA / DMSM... Dépôt par pulvérisation cathodique triode (PCT)... Le principe fait appel à la pulvérisation cathodique triode (PCT), le matériau à pulvériser étant bombardé par des particules accélérées dans un champ électrique.... |
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| 5. | Capteurs thermiques en couches minces et microtechnologie - Onera / DMPH - ONERA / DMPH |
| | Les thermocouples en couches minces développés par le Département Mesures Physiques / Unité de Recherche Capteurs et Microtechnologie sont principalement de type Platinel ® II, formés par deux thermoéléments en alliages Au-Pd et Pd-Pt-Au. Les couches sont déposées sur les pièces à instrumenter par pulvérisation cathodique (méthode PVD, Physical Vapor deposition).... |
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| 6. | Capteurs mécaniques en couche mince, microtechnologie - Onera - DMPH - ONERA / DMPH |
| | Pour répondre à ces besoins, le DMPH développe des transducteurs multicouches Pt / AlN / Pt déposée par pulvérisation cathodique.... Le capteur en couche mince d'éveloppé par le DMPH est entièrement élaboré par pulvérisation cathodique.... |
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