Le Laboratoire CouchesMinces utilise la technologie couchesminces pour développer deux familles de capteurs fonctionnant à haute température: les capteurs thermiques et les capteurs mécaniques... Au sein de Département Mesures Physiques (DMPH), le laboratoire" CouchesMinces" de l'Unité de recherche Capteurs et MicroTechnologies (CMT), que dirige Patrick Kayser, développe en particulier deux familles de capteurs en couchesminces fonctionnant à haute température: des capteurs thermiques et des capteurs mécaniques
I N V I T A T I O N DEPARTEMENT PHYSIQUE INSTRUMENTATION ENVIRONNEMENT ESPACE (DPHY) Couchesminces diélectriques avec des inclusions de nanoparticules d'argent réalisées par voie plasma conçues pour le contrôle du gradient de charges électriques sous irradiation électronique pour des applications spatiales Soutenance de thèse de Charles RIGOUDY 18 décembre 2019 -14:00 Salle des Colloques
L' autre appareil est un diffractomètre" haute résolution", destiné à l'étude d'échantillons monocristallins (massifs, couchesminces... Mesures structurales typiques: orientations cristallographiques, détermination de paramètres de maille, mesures de textures, détermination d'épaisseurs de couchesminces, détermination de taux de phase
Ces dispositifs exploitent notamment les propriétés des couchesminces pour les mesures en environnement sévères, des micro résonateurs pour les capteurs inertiels haute performance, et des matériaux bidimensionnels (graphène, nitrure de bore) pour les capteurs de gaz et capteurs résonants. Micro magnétomètre résonant: réalisé par usinage collectif sur wafer (à gauche), il s'agit d'un résonateur (diapason), avec ses électrodes d'actionnement (au milieu), au bout duquel est déposée une couchemince de matériauferromagnétique (à droite
Pour répondre à ces besoins, un nouveau type de magnétomètre est apparu, fondé sur l'interaction entre des couchesminces aimantées et des résonateurs piézoélectriques... Dans un deuxième temps, l'interaction entre une couchemince aimantée et un résonateur piézoélectrique a été modélisée et validée numériquement
I N V I T A T I O N Elaboration et étude des propriétés physiques de couchesminces monocristallines d'alliage de Heusler à faible amortissement magnétique pour composants hyperfréquences Soutenance de thèse... Cette étape s'est suivie de l'élaboration de couchesminces épitaxiales de Co2MnSi par pulvérisation cathodique sur substrat MgO (001) et MgO /
Enfin, des électrodes à base de nanoparticules d'or sont déposées en couchesminces sur un gyromètre dans la troisième approche. Les performances des résonateurs réalisés sont analysées et discutées